GB/T 39144-2020.Test method for magnesium content in gallium nitride materials-Secondary ion mass spectrometry.
1范圍
GB/T 39144規(guī)定了氮化鎵材料中鎂含量的二次離子質(zhì)譜測試方法。
注:氮化鎵材料中的鎂含量以每立方厘米中的原子數(shù)計。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 14264半導體材料術語
GB/T 22461表 面化學分析詞匯
GB/T 32267分析儀器性能測定術語
3術語和定義
GB/T 14264、GB/T 22461和GB/T 32267界定的術語和定義適用于本文件。
5干擾因素
5.1 二次離子質(zhì)譜儀存在記憶效應,若測試過鎂含量較高的樣品,儀器樣品室內(nèi)會殘留高含量鎂,影響鎂含量的測試結果。
5.2儀 器型號不同或者同一儀器的狀態(tài)不同(例如電子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦狀態(tài)等),會影響本方法的檢出限。
5.3 在樣品架窗口范圍內(nèi)的樣品分析面應平整,以保證每個樣品移動到分析位置時,其表面與離子收集光學系統(tǒng)的傾斜度不變,否則會降低測試的準確度。
5.4樣品表面吸附的鎂離子可能影響鎂含量的測試結果。
5.5測試的準確度隨著樣品的表面粗糙度增大而顯著降低,應通過對樣品表面化學機械拋光或者化學腐蝕拋光降低表面粗糙度。
5.6標準樣品中鎂含量的不均勻性會限制測試結果的準確度。
5.7標準樣品中鎂標稱含量的偏差會導致測試結果的偏差。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。