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GB/T32188-2015氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

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標準簡介:本標準規(guī)定了利用雙晶 X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。本標準適用于化學(xué)氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片。

標準號:GB/T 32188-2015

標準名稱:氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

英文名稱:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2015-12-10

實施日期:2016-11-01

中國標準分類號(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法

國際標準分類號(ICS):冶金>>77.040金屬材料試驗

起草單位:中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國科學(xué)院物理研究所、北京天科合達藍光半導(dǎo)體有限公司、丹東新東方晶體儀器有限公司

歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)與全國

發(fā)布單位:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

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